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LT-200數字式太陽能級硅晶體少子壽命測試儀簡介
1. 儀器應用范圍及說明
本設備是按照 標準GB/T1553“硅單晶少數載流子壽命測定的高頻光電導衰減法”設計制造。高頻光電導衰減法在我國半導體集成電路、晶體管、整流器件、核探器行業已運用了三十多年,積累了豐富的使用經驗,經過數次全國十多個單位巡回測試的考驗,證明是一種成熟可靠的測試方法,特別適合于硅塊、硅棒的少子體壽命測量;也可對硅片進行測量,給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面,因此制樣特別簡便。
昆德公司數字式硅晶體少子壽命測試儀有以下特點:
可測量太陽能級多晶硅塊、單晶硅棒少數載流子體壽命。表面無需拋光,直接對切割面或研磨面進行測量,儀器可按需方提供的有標稱值的校準樣品調試壽命值。
1.1 可測量太陽能級單晶及多晶硅片少數載流子的相對壽命,表面無需拋光、鈍化。
1.2 液晶屏上直接顯示少子壽命值,同時在線顯示光電導衰退波形。
1.3 配置的紅外光源:0.904~0.905μm波長紅外脈沖激光器,光穿透硅晶體深度較淺≈30μm,但光強較強,有利于測量低阻太陽能級硅晶體少數載流子體壽命,脈沖功率30W。
1.4 專門為消除陷進效應增加了紅外低光照。
1.5 測量范圍寬廣
測試儀可直接測量:
a、研磨或切割面:電阻率≥0.5Ω•cm的單晶硅棒、定向結晶多晶硅塊少子體壽命,切割片的少子相對壽命。
b、拋光面:電阻率在0.5~0.01Ω•cm范圍內的硅單晶、鍺單晶厚度小于1mm的拋光片。
2. 設備技術要求及性能指標
2.1 少子壽命測試范圍:0.5μs~6000μs
2.2 樣品的電阻率范圍:ρ﹥0.1Ω·cm(非回爐料)
2.3 測試速度:1分鐘/片
2.4 紅外光源波長: 0.904~0.905μm
2.5 高頻振蕩源:用石英諧振器,振蕩頻率:30MHZ
2.6 前置放大器,放大倍數約25,頻寬2HZ-2MHZ
2.7 可測單晶尺寸:斷面豎測:
直徑25mm-150mm;厚度2mm-500mm
縱向臥測:直徑5mm-20mm;長度50mm-200mm
2.8 測量方式:采用數字示波器直接讀數方式
2.9 測試分辨率:數字存儲示波器zui小分辨率0.01μs
2.10 設備重量:20 Kg
2.11 儀器電源:電源電壓類型:單相210~230V,50Hz,帶電源隔離、濾波、穩壓,不能與未做保護措施的大功率、高頻設備共用電源。

聯系人:王汝玄
電話:
傳真:86-010-68467699
手機:18910534055
郵箱:1350547381@qq.com
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